光纤用高纯四氯化硅生产过程中，需要对四氯化硅进行反应精馏的方法才能去除对产品质量严重影响的氢氧基团杂质。四氯化硅和氯气再光反应器中进行反应，然后再进入分离塔提纯分离，产生的尾气用饱和氢氧化钠溶液淋洗，淋洗后的废液直接进入多晶硅生产系统三废处理站进行中和处理。
然而，氯气在氢氧化钠溶液中会和发生反应生成次氯酸钠溶液，次氯酸钠若没有处理直接排入多晶硅系统的三废处理系统，次氯酸钠在三废处理系统的酸性环境下中会发生逆反应生成氯气，氯气会在设备或者管道低处发生聚集。从而产生安全生产隐患。
四氯化硅尾气包含氯气，，将四氯化硅尾气与过量碱液混合，反应得到含有硅酸盐和次氯酸盐的第一反应产物；将第一反应产物固液分离，得到分离液，将分离液与还原剂混合并使其中的次氯酸盐发生氧化还原反应转化为氯盐，得到第二反应产物。
上述处理方法中利用亚硫酸钠等还原剂处理掉淋洗后废碱液中的次氯酸盐，从而避免了次氯酸盐在酸性环境下生成的氯气在设备或者管道低处的聚集，降低了生产安全隐患的发生；并且，工艺简单高效，运行可靠，实用性强。
上述四氯化硅尾气中是在光纤用高纯四氯化硅的生产工艺中产生的，通常包含四氯化硅尾气和氯气，且四氯化硅尾气中通常含有体积比为0.1～0.2％的所述氯气；四氯化硅尾气中的氯硅烷(主要是四氯化硅)会和碱液生成硅酸盐，悬浮在液体中，采用过量的碱液是为了使碱液在与四氯化硅反应生成硅酸盐的同时，还能够与四氯化硅尾气中的氯气充分反应，形成次氯酸盐，从而实现将尾气中氯气更有效地去除。
在采用淋洗的方式使过量碱液与四氯化硅尾气接触的过程中，尾气从淋洗塔底部进入，在淋洗塔中不断地经过淋洗，碱液从塔顶一直进行喷淋，整个过程是连续的，为了保证四氯化硅和氯气在与碱液反应后还能够残留有部分未反应碱液，尾气流量可以15kg/h，氢氧化钠碱液的流量可以35kg/h。为了提高反应效率，优选地，淋洗过程中的压力为0.05～0.1MPa，淋洗过程的温度小于30℃。
